*價(jià)格神視晶圓定位傳感器
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產(chǎn)品名稱: *價(jià)格神視晶圓定位傳感器
產(chǎn)品型號(hào): -
產(chǎn)品展商: 日本Panasonic松下
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔
簡(jiǎn)單介紹
*價(jià)格神視晶圓定位傳感器
通過反射光位置而非反射光量進(jìn)行檢測(cè)。因此，受晶圓厚度和反射光量的影響較小
以往使用激光的激光式定位傳感器，激光會(huì)從加載口內(nèi)側(cè)穿過FOUP直射操作人員，十分危險(xiǎn)。
M-DW1成功使用LED光源。確保操作人員安全。
*價(jià)格神視晶圓定位傳感器
的詳細(xì)介紹
*價(jià)格神視晶圓定位傳感器
傳感器可以從正前方、右側(cè)、左側(cè)、下方四個(gè)方向引出電纜?？筛鶕?jù)傳感器的設(shè)置情況靈活調(diào)節(jié)
尺寸為寬度80.6mm×厚度18.3mm×進(jìn)深50mm，質(zhì)量約為75g的小巧、輕盈型
中心測(cè)量距離 45mm
檢測(cè)物體 3英寸以上的半導(dǎo)體晶圓(注2)
可對(duì)應(yīng)檢測(cè)面 有受光方向反射面的端面形狀的檢測(cè)面(注3)
輸出動(dòng)作 可用切換開關(guān)選擇入光時(shí)ON/非入光時(shí)ON
短路保護(hù) 裝備(自動(dòng)復(fù)位)
反應(yīng)時(shí)間 500μs以下 檢測(cè)角度 12.5±5°(注4)
晶圓間距 間距3mm以上時(shí)，可按通常靈敏度進(jìn)行分離檢測(cè)(注5)
適用晶圓盒 SEMI規(guī)格FOUP晶圓盒/開放式晶圓盒
電源電壓 12?24V DC±10% 脈動(dòng)P-P10%以下
消耗電流 65mA以下
工作狀態(tài)指示燈 橙色LED(輸出ON時(shí)亮起)
穩(wěn)定指示燈 綠色LED(穩(wěn)定入光時(shí)、穩(wěn)定非入光時(shí)亮起點(diǎn)燈)
定時(shí)器功能 裝備約2ms固定斷開延遲定時(shí)器 有效/無效切換式
氮化膜具有可吸收特定波長光的性質(zhì)，吸收的波長因氮化膜的厚度而不同。
因此，對(duì)于使用單波長激光的傳感器，可能會(huì)因光全被吸收而無法檢測(cè)。
而LED光源的光具有一定波長段，即使氮化膜晶圓也可準(zhǔn)確檢測(cè)
M-DW1以反射光的位置來檢測(cè)，不管反射光量的多少都能檢測(cè)出玻璃晶圓。
利用反射光量檢測(cè)時(shí)，反射光量和晶圓的邊緣形狀會(huì)影響檢測(cè)結(jié)果。
M-DW1的受光部使用2段受光元件，
